ラバーセルポンプ(RZ)
シールセルポンプ(SM)
シールセルポンプECO(ESM)
スルーセルポンプ(SMO)
クローバーポンプ(CO)
マジカルポンプ(CWM)
マジカルポンプ(SWM)
RANDX
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接液部が樹脂製の省スペース型のポンプです。
半導体の研磨工程で使うCMPスラリーに適しています。
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